| 公開日期 | 標題 | 作者 | 來源出版物 | scopus | WOS | 全文 |
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| 1998 | Modeling, qualitative analysis, and performance evaluation of the etching area in an IC wafer fabrication system using Petri nets | Mu-Der Jeng ; Xie, X. L.; Chou, S. W. | Ieee Transactions on Semiconductor Manufacturing |
