Research and Development of a High-Precision Slot Coating Mechanism

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Project title

Code/計畫編號

NSC93-2218-E019-001

Translated Name/計畫中文名

次世代TFT-LCD光阻塗佈製程與設備之研發---子計畫四---高精度塗佈機構之研發與製作

Project Coordinator/計畫主持人

Chyun-Chau Fuh

Funding Organization/主管機關

National Science and Technology Council

Department/Unit

Department of Mechanical and Mechatronic Engineering

Website

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1029618

Year

2004

Start date/計畫起

01-08-2004

Expected Completion/計畫迄

01-07-2005

Bugetid/研究經費

663千元

ResearchField/研究領域

光電工程
化學工程

" 在狹縫式塗佈製程中，塗佈液吐出流量、塗佈位置、塗佈模具與被塗佈基板間之相對速度、塗佈液吐出口與基板間之間隙、兩者之平行度、再現性與穩定性等均是影響塗佈品質之重要參數。其中，影響膜厚均勻度的因素，除輸送塗佈液幫浦之流量穩定度外，塗佈機台相關運動機構之精度及塗佈裝置與基板間隙之平行度亦是關鍵因素。以塗佈機之運動機構而言，通常包含一水平移動平台及一垂直運動機構，本子計畫擬採用線性馬達直接驅動平台。垂直運動機構方面，因同樣須考慮到精度、響應特性及保養方便性等，故本計畫考慮以超音波馬達取代傳統以導螺桿驅動之垂直移動機構。另一個注意之處是平台本身表面的平面度，由於精度誤差是累加的，故在制訂總體精度規格時，本子計畫均會將各種可能之誤差來源都考慮進去。此外，欲使用模塗料器在被塗佈基板上形成膜厚均勻之塗膜時，須將塗佈液吐出口所有寬度範圍內與被塗佈基板間之間隙保持一定。亦即平行度之要求亦非常高，否則會造成被塗佈基板兩側之膜厚不均一。為達到此要求，本子計畫擬增加一精密六連桿調整機構。此機構配合超音波馬達，即可構成一組可即時調整間隙及平行度之自動化伺服機構。其中長型模塗料器兩端與被塗佈基板間之距離，擬採用非接觸式之精密雷射位移感測器。 "

DSpace CRIS

Research and Development of a High-Precision Slot Coating Mechanism

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