第 1 到 1 筆結果,共 1 筆。
公開日期 | 標題 | 作者 | 來源出版物 | WOS | 全文 | |
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1 | 2005 | Computational study of the effect of finger width and aspect ratios for the electrostatic levitating force of MEMS combdrive | Shiang-Woei Chyuan; Yunn-Shiuan Liao; Jeng-Tzong Chen | Journal of Microelectromechanical Systems |