http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/23761
DC 欄位 | 值 | 語言 |
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dc.contributor.author | 吳俊逸 | en_US |
dc.contributor.author | 譚安宏 | en_US |
dc.date.accessioned | 2023-03-31T06:37:44Z | - |
dc.date.available | 2023-03-31T06:37:44Z | - |
dc.date.issued | 2022-09 | - |
dc.identifier.uri | http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/23761 | - |
dc.description | 證書號數:M631781 | en_US |
dc.description.abstract | 一種半導體半成品結構製造設備,其包括:光源,用於發射第一光束;槽體,其底部為係為透光材質,對應設置於光源,以使具有光束圖樣的第二光束穿透槽體的底部,以固化容置於槽體的二氧化矽組成物液體之部分;導引裝置,設置於槽體之上,透過槽體的開口接觸二氧化矽組成物液體,用於拉出具有對應於光束圖樣之至少一凹槽的半導體半成品結構。藉由該導引裝置往上抽離一層一層堆積形成的半導體半成品結構,以及後續將半導體半成品結構進行加熱,以還原成為矽晶棒或碳化矽晶棒的半導體半成品結構。 | en_US |
dc.language.iso | zh | en_US |
dc.title | 半導體半成品結構製造設備 | en_US |
dc.title.alternative | Semiconductor semi-finished product structure manufacturing device | en_US |
dc.type | patent | en_US |
item.cerifentitytype | Patents | - |
item.openairetype | patent | - |
item.openairecristype | http://purl.org/coar/resource_type/c_15cd | - |
item.fulltext | no fulltext | - |
item.grantfulltext | none | - |
item.languageiso639-1 | zh | - |
crisitem.author.dept | National Taiwan Ocean University,NTOU | - |
crisitem.author.dept | College of Life Sciences | - |
crisitem.author.dept | Department of Food Science | - |
crisitem.author.parentorg | National Taiwan Ocean University,NTOU | - |
crisitem.author.parentorg | College of Life Sciences | - |
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