Project title
Extraction of Surface Roughness Parameters from Light Diffraction Profile: A Case Study of Chemical Etching Process on Silicon Surfaces
Code/計畫編號
NSC86-2112-M019-005
Translated Name/計畫中文名
表面光散射分布與單晶矽之化學侵蝕過程表面粗糙度參數的關聯之研究
Project Coordinator/計畫主持人
Funding Organization/主管機關
Department/Unit
Year
1996
Start date/計畫起
01-08-1996
Expected Completion/計畫迄
31-07-1997
Bugetid/研究經費
100千元
ResearchField/研究領域
物理