Research on High Resolution and Large Area Shadow Mask of Organic Light Emitting Display(OLED)

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Project title

Code/計畫編號

NSC95-2221-E019-038

Translated Name/計畫中文名

高解析度之大面積有機電激發光顯示器蒸鍍遮罩研發製作

Project Coordinator/計畫主持人

Chih-Wei Wu

Funding Organization/主管機關

National Science and Technology Council

Department/Unit

Department of Mechanical and Mechatronic Engineering

Website

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1311012

Year

2006

Start date/計畫起

01-08-2006

Expected Completion/計畫迄

01-07-2007

Bugetid/研究經費

636千元

ResearchField/研究領域

光電工程

" 本研究擬以一年的時間，完成高解析度之大面積有機電激發光顯示器蒸鍍遮罩製作。傳統雷射加工與精密蝕刻方法雖可製作大面積蒸鍍遮罩但卻面臨蒸鍍孔洞過大的問題；反觀以微機電製程技術可輕易製作微米等級蒸鍍孔洞，但卻受限於晶圓尺寸而無法製作大面積模具，此兩種精密製造主流技術之優缺點互為相反，卻始終無法研發出兼具兩者優點之蒸鍍遮罩，故兩者之技術開發及應用均逐漸面臨瓶頸。本研究計畫的主要概念為結合奈微米機電與自我對準技術，製作高解析度之大面積有機電激發光顯示器蒸鍍遮罩。以下就個別技術之製作程序說明如下： (1) 利用矽晶圓非等向性濕蝕刻技術，輔以找尋真實晶格方向之光罩設計，製作具V 型溝槽、蒸鍍孔洞、與光滑側向接合面之單一蒸鍍遮罩接板； (2) 以光纖高均一性之特點解決接板接合界面高差、傾斜角、與個別蒸鍍接板間之對準等問題； (3) 進行有機電激發光元件製作，以驗證蒸鍍遮罩整體性能。本計畫之最終目的，在嘗試發展全新的有機電激發光顯示器蒸鍍遮罩製造技術，突破以傳統精密模具加工與微機電技術所無法克服的障礙，並提供降低蒸鍍遮罩成本之方法，相信在有機電激發光顯示器的領域上有極高的價值與應用。 "

DSpace CRIS

Research on High Resolution and Large Area Shadow Mask of Organic Light Emitting Display(OLED)

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