Fabrication Micro Quartz Crystal with Correct Frequency for High Frequency Communication

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Information

Details

Project title

Code/計畫編號

NSTC111-2637-E262-002

Translated Name/計畫中文名

製備微型石英晶體正確頻率於高頻通訊之研究

Project Coordinator/計畫主持人

Jihng-Kuo Ho

Funding Organization/主管機關

National Science and Technology Council

Co-Investigator(s)/共同執行人

許春耀

Department/Unit

Department of Mechanical Engineering,LHU

Website

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=14609119

Year

2022

Start date/計畫起

01-08-2022

Expected Completion/計畫迄

31-07-2023

Bugetid/研究經費

621千元

ResearchField/研究領域

機械工程

Description

Abstract

目前業界較先進的製程，於石英晶體電極區上、下兩面皆沉積Ag/Ni雙層膜，遮罩(MASK)置於下層，離子源由下方向上單面蝕刻，獲得正確晶體頻率之石英元件，僅允許微蝕刻單面Ag薄膜。確保產品高良率及優越的穩定性，需監控阻抗值，方能獲得正確晶體頻率，本研究計畫獲得高良率及高穩定性的產品。該研究計畫可行，值得投注研發經費，具學術值及業界實用性。

Keyword(s)

micro quartz crystal
Ag thin films
high frequency communication
ion etching
ion etching