http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2481
標題: | Computational study of variations in gap size for the electrostatic levitating force of MEMS device using dual BEM | 作者: | Chyuan, S. W. Liao, Y. S. Jeng-Tzong Chen |
公開日期: | 九月-2004 | 卷: | 35 | 期: | 9 | 來源出版物: | Microelectronics Journal | URI: | http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2481 | ISSN: | 0026-2692 | DOI: | 10.1016/j.mejo.2004.06.005 |
顯示於: | 河海工程學系 |
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