Computer simulations for mask structure heating in X-ray lithography

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標題:	Computer simulations for mask structure heating in X-ray lithography
作者:	Li, D. C. Jeng-Tzong Chen Chyuan, S. W. Sun, C. Y.
公開日期:	二月-1996
卷:	58
期:	4
來源出版物:	Computers & Structures
URI:	http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2515
ISSN:	0045-7949
DOI:	10.1016/0045-7949(95)00063-m ://WOS:A1996TH09800017
顯示於：	河海工程學系

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