THERMOMECHANICAL RESPONSE ANALYSIS OF LITHOGRAPHIC MASK STRUCTURE USING FINITE-ELEMENT METHOD

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標題:	THERMOMECHANICAL RESPONSE ANALYSIS OF LITHOGRAPHIC MASK STRUCTURE USING FINITE-ELEMENT METHOD
作者:	Li, D. C. Chyuan, S. W. Jeng-Tzong Chen Sun, C. Y.
公開日期:	十月-1995
卷:	38
期:	4
來源出版物:	Jsme International Journal Series a-Mechanics and Material Engineering
URI:	http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2516
ISSN:	1340-8046
DOI:	10.1299/jsmea1993.38.4_563 ://WOS:A1995TF11700022
顯示於：	河海工程學系

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