http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2599| 標題: | Mechanical properties and oxidation resistance of reactively sputtered Ta-1 (-) xZrxNy thin films | 作者: | Chang, L. C. Chang, C. Y. Yung-I Chen |
公開日期: | 十月-2015 | 卷: | 280 | 來源出版物: | Surface & Coatings Technology | URI: | http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2599 | ISSN: | 0257-8972 | DOI: | 10.1016/j.surfcoat.2015.08.051 |
| 顯示於： | 光電與材料科技學系 |
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