Internal oxidation of laminated Hf-Ru coatings

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標題:	Internal oxidation of laminated Hf-Ru coatings
作者:	Yung-I Chen Huang, Y. R. Chang, L. C.
公開日期:	三月-2016
卷:	34
期:	2
來源出版物:	Journal of Vacuum Science & Technology A
URI:	http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2623
ISSN:	0734-2101
DOI:	10.1116/1.4935653 ://WOS:000372352300003
顯示於：	光電與材料科技學系

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