Internal oxidation mechanism for Ta-Ru and Mo-Ru coatings

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標題:	Internal oxidation mechanism for Ta-Ru and Mo-Ru coatings
作者:	Yung-I Chen Tsai, B. N.
公開日期:	五月-2011
卷:	519
期:	15
來源出版物:	Thin Solid Films
URI:	http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2639
ISSN:	0040-6090
DOI:	10.1016/j.tsf.2011.01.064 ://WOS:000292471400064
顯示於：	光電與材料科技學系

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