http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2045| 標題: | Self-limiting growth of ZnO films on (0001) sapphire substrates by atomic layer deposition at low temperatures using diethyl-zinc and nitrous oxide | 作者: | Lin, Y. T. Chung, P. H. Lai, H. W. Su, H. L. Lyu, D. Y. Yen, K. Y. Tai-Yuan Lin Kung, C. Y. Gong, J. R. |
公開日期: | 十一月-2009 | 卷: | 256 | 期: | 3 | 來源出版物: | Applied Surface Science | URI: | http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2045 | ISSN: | 0169-4332 | DOI: | 10.1016/j.apsusc.2009.08.067 |
| 顯示於： | 光電與材料科技學系 |
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