Combined Diamond Disks in Chemical Mechanical Polishing

請用此 Handle URI 來引用此文件： http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/23865

標題:	Combined Diamond Disks in Chemical Mechanical Polishing
作者:	Ming Yi Tsai Jihng Kuo Ho Jyu Lin Zeng
公開日期:	2015
卷:	642
起(迄)頁:	110-114
來源出版物:	Key Engineering Materials
URI:	http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/23865
顯示於：	機械與機電工程學系

顯示文件完整紀錄

152

checked on 2025/6/30

檢查

TAIR相關文章

在 IR 系統中的文件，除了特別指名其著作權條款之外，均受到著作權保護，並且保留所有的權利。