MODELING OF THE FORMATION OF RUO2 THIN-FILM FROM RU(C5H5)(2) BY METAL-ORGANIC CHEMICAL-VAPOR DECOMPOSITION

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標題:	MODELING OF THE FORMATION OF RUO2 THIN-FILM FROM RU(C5H5)(2) BY METAL-ORGANIC CHEMICAL-VAPOR DECOMPOSITION
作者:	Mar, S. Y. Huang, Y. S. Kwong-Kau Tiong
公開日期:	三月-1995
卷:	258
期:	1-2
來源出版物:	Thin Solid Films
URI:	http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/8155
ISSN:	0040-6090
DOI:	10.1016/0040-6090(94)06368-0 ://WOS:A1995QN15800018
顯示於：	電機工程學系

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