http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/8541| 標題: | Special Section on Semiconductor Manufacturing Systems: Modeling, Analysis, and Control | 作者: | Mu-Der Jeng Xie, X. |
公開日期: | 十月-2001 | 卷: | 17 | 期: | 5 | 來源出版物: | Ieee Transactions on Robotics and Automation | URI: | http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/8541 | ISSN: | 1042-296X | DOI: |
| 顯示於： | 電機工程學系 |
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