http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/23865
標題: | Combined Diamond Disks in Chemical Mechanical Polishing | 作者: | Ming Yi Tsai Jihng Kuo Ho Jyu Lin Zeng |
公開日期: | 2015 | 卷: | 642 | 起(迄)頁: | 110-114 | 來源出版物: | Key Engineering Materials | URI: | http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/23865 |
顯示於: | 機械與機電工程學系 |
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