http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2600| 標題: | Mechanical properties and oxidation behavior of ZrNx thin films fabricated through high-power impulse magnetron sputtering deposition | 作者: | Chang, L. C. Chang, C. Y. Yung-I Chen Kao, H. L. |
公開日期: | 三月-2016 | 卷: | 34 | 期: | 2 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science & Technology A | URI: | http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2600 | ISSN: | 0734-2101 | DOI: | 10.1116/1.4941070 |
| 顯示於： | 光電與材料科技學系 |
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