http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2630| 標題: | Characterization of Ta-Si-N coatings prepared using direct current magnetron co-sputtering | 作者: | Yung-I Chen Lin, K. Y. Wang, H. H. Cheng, Y. R. |
公開日期: | 六月-2014 | 卷: | 305 | 來源出版物: | Applied Surface Science | URI: | http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2630 | ISSN: | 0169-4332 | DOI: | 10.1016/j.apsusc.2014.04.011 |
| 顯示於： | 光電與材料科技學系 |
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