http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2641| 標題: | Effect of Bias Voltage on Mechanical Properties of HiPIMS/RFMS Cosputtered Zr-Si-N Films | 作者: | Yung-I Chen Zheng, Y. Z. Chang, L. C. Liu, Y. H. |
公開日期: | 九月-2019 | 卷: | 12 | 期: | 17 | 來源出版物: | Materials | URI: | http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/2641 | DOI: | 10.3390/ma12172658 |
| 顯示於： | 光電與材料科技學系 |
在 IR 系統中的文件，除了特別指名其著作權條款之外，均受到著作權保護，並且保留所有的權利。