The copper contamination effect of Al2O3 gate dielectric on Si

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標題:	The copper contamination effect of Al2O3 gate dielectric on Si
作者:	Liao, C. C. Cheng-Fa Cheng Yu, D. S. Chin, A.
公開日期:	2004
卷:	151
期:	10
來源出版物:	Journal of the Electrochemical Society
URI:	http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/5515
ISSN:	0013-4651
DOI:	10.1149/1.1789391 ://WOS:000224678500073
顯示於：	通訊與導航工程學系

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