http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/3435| 標題: | Application of the inclined exposure and molding process to fabricate a micro beam-splitter with nanometer roughness | 作者: | Chuang, Y. J. Shih-Hao Huang Chen, Y. C. Hung, K. Y. |
公開日期: | 三月-2013 | 卷: | 19 | 期: | 3 | 來源出版物: | Microsystem Technologies-Micro-and Nanosystems-Information Storage and Processing Systems | URI: | http://scholars.ntou.edu.tw/handle/123456789/3435 | ISSN: | 0946-7076 | DOI: | 10.1007/s00542-012-1715-6 |
| 顯示於： | 機械與機電工程學系 |
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